최적의 솔루션을 제공하는 혁신적인 기업 ㈜KTL

Powder Trap

  • Home >
  • 사업소개 >
  • Powder Trap

HOT & COLD Powder Trap의 원리

Cold과 Hot의 혼합 형태로 Hot Zone에서 Gas를 이온화 및 분해한 후 Cold zone에서 △T를 이용하여 포집 하게 되어 기존 Cold & Hot 각각 개별 Type에 비해 월등히 높게 Powder가 Tarp에 쌓여 생산성 향상 및 Cost 절감 됩니다

HOT & COLD Powder Trap의 효과

  • - Chamber Powder에 의한 Particle 감소.
  • - Powder Deposition 문제로 인한 Pump Pressure 변화 감소.
  • - Vacuum Line 막힘 현상 감소.
  • - Powder에 의한 Pump 돌발 Trip 및 Fail 방지.
  • - Pump Life Time 증가 및 Scrubber P.M 주기 감소.
  • - Vacuum Line 및 Exhaust Pipe P.M 주기 감소.
  • - Vacuum Line & Exhaust Pipe Clogging 현상 방지.

Powder Trap